Si+4HF=SiF4↑+2H2↑。離子方程式為Si+6HF=2H++SiF6(2-)+2H2↑。氫氟酸是氟化氫氣體的水溶液，清亮，無色、發煙的侵蝕性液體，有劇烈刺激性氣味。熔點-83.3℃，沸點19.5℃，密度1.15g/cm3。易溶于水、乙醇，微溶于乙醚。